제품소개

molboc-L 층류성분(Laminar Flow Element)

molboc-L 층류성분(Laminar Flow Element)

특징 한 눈에 보기
  • 기존 molbox1+과 molbox RFM 질량 유량 터미널과 COMPASS 소프트웨어와 사용 가능
  • 오염을 방지하는 내장 필터
  • 내재 가스 온도 조절 및 측정
  • 연속적인 실시간 측정값
  • 완전 자동화 가능
  • 유동 부품 없음
Molbloc-L 범위
Molbloc의 크기는 공칭 유량 임피던스에 따른 번호를 부여받습니다. 공칭 유량 범위의 공칭 임피던스는 질소 가스를 상류 250kPa 절대압 (36psia)과 차압 50kPa (7.5 psid)로 molbloc에 흐르도록 할 때 발생합니다. 실제 사용상의 molbloc 유량 범위는 공칭 범위와 다를 수 있습니다. 이 차이는 가스 간의 점도와 밀도 차이 및 서로다른 molbloc 운전 압력 교정 옵션들로 인해 발생합니다.

1 sccm에서 100 slm 사이의 유량을 위한 층류성분(Larminar Flow Element)
Molbloc-L은 molbox 질량 터미널과 사용할 수 있는 층류성분(laminar flow element)입니다. Molbloc의 유량 경로는 피스톤과 molbloc 몸체에 딱 맞는 동심원 구멍 사이의 길이 방향 환형 갭입니다. 간격의 크기를 변화시켜 서로 다른 molbloc 범위를 얻습니다. 고유량 범위 (1E4 이상)을 위해서는 대형 molbloc 몸체와 대형 동심원 bore를 사용합니다.
tel:031-396-4029